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旋轉硅靶

  • 所屬分類:旋轉(zhuan)硅靶
  • 瀏覽次數:993次
  • 發布日期:2022/10/21 13:22:35
  • 產品概述

~硅旋轉靶(ba)材~

化學組(zu)成:Si(硅)
制作(zuo)工藝:HPS
密度:2.2g/cm3(>95%)
電(dian)阻系數(shu)(20°):<1?.㎝
純(chun)度(du):>99.95
旋轉尺(chi)寸:4000㎜×9t㎜

雜質含量(liang)(Unit:ppm)




~Nb2OX旋轉靶材~
化學組成:Nb2Ox
制作工藝:HPS
密度:4.3g/cm3(>95%)
電阻系數(20°):<0.1?.㎝
純度:>99.95
旋轉尺寸(cun):4000㎜×10t㎜

雜質含(han)量(Unit:ppm)




~鋁旋轉靶材~
化學組(zu)成:AL(鋁)
制作工(gong)藝:One-batch forming
密(mi)度:2.7g/cm3(>99.99%)
純度:>99.99%
旋轉尺寸:4000㎜×10t㎜

雜質含量(Unit:ppm)




~鉻(ge)旋轉靶(ba)材~
化學(xue)組成:Cr(鉻)
制作工藝:HPS
密度(du):6.8g/cm3(>95%)
純度(du):>99.5
旋轉尺(chi)寸:4000㎜×10t㎜

雜質含(han)量(Unit:ppm)




~AZO旋轉靶材(cai)~
化學組成:ZnO.Al2O3(98:2wt%)
制作工藝(yi):HPS
密度:4.3g/cm3(>95%)
純度:>99.95%
電(dian)阻系數(20°):<0.0005?.cm
旋(xuan)轉尺寸:4000㎜×9t㎜
雜質含量(Unit:ppm)
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